在半导体制造、生物医药、航空航天等工业领域场景中,微小流体流量的精确测量与控制直接决定着工艺稳定性。在面对微小流量或低电导率介质(如纯净水、去离子水)时,常出现测量失准与数据漂移的困境。科里奥利质量流量控制器(Coriolis Mass Flow Controller,MFC)凭借直接测量质量流量的独特原理,为这些的技术瓶颈提供了根本性解决方案。
北京精量自主研发的ACU20FE科里奥利质量流量控制器,基于经典科里奥利效应设计,集成高精度单回路传感器、智能控制电路以及高速比例控制阀,构建了完整的闭环精密测控系统。其独特结构的单回路传感器作为振荡系统核心单元,流体流经时会产生与质量流量严格成正比的科里奥利力,引发振动相位偏移;该相位信号由传感单元精准采集后,传输至板载DSP处理器完成实时运算,直接输出质量流量数值。这种测量方式摆脱了温度、压力、流速、密度、电导率、粘度这些外界因素的干扰,从原理上保证了测量的高精度和稳定性。不管是高温高压的化工环境,还是对精度要求极高的食品、医药行业,它都能提供精准可靠的数据。

ACU20FE系列质量流量控制器的计量稳定性强,重复性误差小,具有较高的精度,液体可达±0.25%、气体为±0.5%,可同时测量质量流量、流体密度与温度并输出。无需温度压力补偿,适配液体、气体、超临界流体等多种介质,覆盖低粘度溶剂、高粘度化学品、腐蚀性酸碱、高密度气体等复杂场景;同时具备极低的温漂与时漂特性,无热漂移干扰。精确的流量测控能够帮助企业精准控制反应原料的投入,优化生产流程,提高产品质量,降低生产成本。哪怕只需要微小的流量变化,它也能精准控制,保证生产过程稳定,产品质量一致。
此外产品在航空航天等领域也凭借高可靠性得到广泛认可,针对实验室、微流控的微量需求,其测量范围可达微克/分钟级别,是国内唯一实现该量级科里奥利质量流量控制器产业化的企业。
科里奥利质量流量控制器以其优势跨越了传统测控手段的局限,为精密化、自主化的高端制造升级提供了坚实的流量测控基石。随着对流量自动化控制需求的增长,其技术价值将愈发彰显。