气体质量流量计的传感器架构是其实现高精度测量的核心。

ACU10FA-LM 模拟型气体质量流量计、ACU10FD-MM 数字型气体质量流量计
常见的热式气体质量流量计传感器通常由两个基准级热电阻(RTD)组成,包括速度传感器和温度传感器。速度传感器被加热到高于介质温度,而温度传感器则用于测量介质本身的温度。当气体流过传感器时,气流带走热量,导致速度传感器温度下降。为了维持恒定的温度差,需要调整加热功率,这一变化与气体质量流量密切相关。

工作原理图
信号处理链则负责将传感器输出的微弱电信号转换为可读的流量数据。传感器输出的信号首先经过放大器进行信号放大,以增强信号强度。随后,信号经过滤波处理,去除噪声干扰,确保信号的纯净度。处理后的信号进入信号处理单元,通过模数转换器(ADC)将模拟信号转换为数字信号,便于后续的数字处理。

ACU20FD-MM 高精度气体质量流量计